超纯在加热系统用于半导体相关行业加热应用，加热器由高纯石英材料制成，系统管路采用PFA，适用于去离子水和较低腐蚀性的工艺化学品。加热系统采用先进的PID技术和PLC的逻辑操作进行专业控制，温度控制等级为± 0.5℃ ，产品适用于半导体，太阳能，MEMS制造和其他需要严格纯度标准的行业。
